给定 $[l, r]$ 区间，对于区间内所有数的一个顺序，每次取出最前面的数并将其倍数划去，当所有区间的数都被划去时停止。求所有排列中，取出的数的个数之和。

$1\leq l\leq r\leq 10^7$，答案对 $10^9+7$ 取模。